電子工業高純水設備中,生產單晶硅半導體材料,二極管,三極管,集成電路,光,硬盤,顯象管時,都需要達到電子級標準的工藝用水,在我國,電子級水共分五個級別,部分指標如下:
指標 級別
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
EW-Ⅴ
電阻率
MΩ.cm(25℃)
18
90%時間最小17
15
90%時間最小12
10
90%時間最小8
≥2
≥0.5
大于1μm微粒數,最大值,個/ml
1
5
10
100
500
大于0.5μm微粒數,最大值,個/m
100
300
500
1000
2000
細菌個數,最大值,個/ ml
1
5
10
50
100
總有機碳含量,最大值
50
100
200
1000
5000
二氧化硅總含量,最大值
2
20
50
100
1000
電子級水基本制水流程如下:
原水 預處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水,超純水設備的生產有多年歷史,可按用戶的需求提供達到電子級別用水的生產線。