SJ6000激光干涉儀

一.SJ6000激光干涉儀概述 激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。 SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)分析。 二.SJ6000激光干涉儀功能特點 測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。 具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。 具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。 內置國內外通用的標準，如國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等。可依據(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。 三.SJ6000激光干涉儀技術參數(shù) 系統(tǒng)性能 ? 測量方式：單頻 ? 穩(wěn)頻精度：0.05ppm ? 動態(tài)采集頻率：50 kHz ? 預熱時間：5-10分鐘 ? 工作溫度范圍：0~38℃ ? 環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95% ? 存儲溫度范圍：-20℃~70℃ 環(huán)境補償示值誤差 ? 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃ ? 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃ ? 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%) ? 大氣壓力傳感器：±0.1kPa 線性測量 ? 測量距離：0-40m ? 測量精度：0.5ppm (0-38℃) ? 測量分辨率：1nm ? 測量最大速度：3m/sec 角度測量 ? 軸向量程：0-15m ? 測量范圍：±10° ? 測量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m） ? 測量分辨率：0.1″ 平面度測量 ? 軸向量程：0-15 m ? 測量范圍：±1.5 mm ? 測量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m） ? 基板尺寸：50mm、100mm、150mm 測量分辨率：0.1μm 直線度測量 ? 軸向量程：0.1-4.0 m ? 測量范圍：±3.5 mm ? 測量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m） ? 測量分辨率：0.01μm 垂直度測量 ? 軸向量程：0.1-3.0 m 測量范圍：±3.5mm ? 測量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m） ? 測量分辨率：0.01μm/m 回轉軸分度精度測量 ? 角度測量范圍：0-360° ? 精密轉臺角度增量：5° ? 精密轉臺分度精度：±1″ ? 精密轉臺重復性：0.2″ 四.SJ6000激光干涉儀標準配置 1) SJ6000主機：1臺 2) 環(huán)境補償單元：1臺 3) 光學鏡組： 線性測量光學鏡組：1套（標準配置） 小型線性光學鏡組：1套（選配） 小角度測量光學鏡組：1套（選配） 直線度測量光學鏡組：1套（選配） 垂直度測量光學鏡組：1套（選配） 平面度測量輔助附件：1套（選配） 回轉軸測量精密轉臺：1套（選配） 4) 測量軟件：1套 5) 便攜式筆記本電腦：1臺 6) 便攜式儀器配件箱：1個 7) 通用三腳架：1個 8) 云臺附件：1套 9) 磁性表座：2套 10) 產(chǎn)品使用說明書：1套 11) 產(chǎn)品合格證、保修卡：1套 12) 免費保修：1年 13) 校準證書（選配） 激光頻率校準證書： 1）由深圳市計量質量檢測研究院出具； 2）由其它機構出具。 環(huán)境補償單元校準證書： 1）由深圳市計量質量檢測研究院出具； 2）由其它機構出具。 線性位移校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。 直線度校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。 小角度校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。