經濟型掃描電子顯微鏡
- 東莞市天測光學設備有限公司
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產品簡介
| KYKY-EM3200系列 | |||||||||
| 經濟型掃描電子顯微鏡 | |||||||||
| 項目 | EM3200 | EM3200Z | EM3200A | EM3200AZ | |||||
| 分辨率 | 6.0nm(30KV) | ||||||||
| 放大倍數 | 1.5x~250,000x | ||||||||
| 電子槍類型 | 發叉式鎢絲陰極 | ||||||||
| 加速電壓 | 0~30KV | ||||||||
| 透鏡系統 | 三級電磁透鏡 | ||||||||
| 物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調節 | ||||||||
| 樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | 手動 | X/Y軸自動 | |||||
| 行程 | X | 0~50mm(大樣品臺0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(大樣品臺0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （大樣品0º~90º） | ||||||||
| 探測器 | 二次電子探測器，背散射電子探測器（可選），X-ray能譜儀（可選） | ||||||||
| 真空系統 | 擴散泵 | 擴散泵 | 分子泵 | 分子泵 | |||||
| KYKY-EM3200 Seria SEM | |||||||||
| Type | EM3200 | EM3200Z | EM3200A | EM3200AZ | |||||
| Resolution | 6.0nm(30KV) | ||||||||
| Magnifation | 1.5x~250,000x | ||||||||
| Electron Gun | Hair fork tungsten cathode | ||||||||
| Accel Voltage | 0~30KV | ||||||||
| Lens System | Level 3 electromagnetic lens | ||||||||
| Lens Isis | three diaphragm can be adjusted without vacuum | ||||||||
| Stage | Manually | X/Y axis automatic | Manually | X/Y軸自動 | |||||
| Move range | X | 0~50mm(large stage 0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(large stage 0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （large stage 0º~90º） | ||||||||
| Detector | secondary electron detector，backscattered electron detector （optional），X-ray Energy Disperse Spectroscopy（optional） | ||||||||
| Vacuum System | diffusion pump | diffusion pump | molecular pump | molecular pump | |||||
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