Profilm3D光學輪廓儀

Filmetrics Profilm3D光學輪廓儀 
三維光學輪廓儀、3D 光學表面輪廓儀

低成本-高精度

Filmetrics 讓光學輪廓測量價格更為實惠，Profilm3D 使用了最先進的垂直掃描干涉 (VSI) 結合高精確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。

100毫米自動XY樣品平臺

你還為了每位使用者都需要的功能額外付費嗎? 我們每臺Profilm3D 都已將自動XY樣品平臺以及tip/tilt 功能列為標準配備。

最大視野

The Profilm3D以10倍物鏡優異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要�？蛇M一步減少總體成本，本司也提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應用之樣片。

性能規格
 
厚度范圍, VSI:      50 nm - 10 mm
厚度范圍, PSI:      0 - 3 μm
RMS 重復性, VSI:    1.0 nm
RMS 重復性, PSI:    0.1 nm
臺階高度 準確性1:   0.7%
臺階高度 重復性2:   0.1%
樣品反射率范圍:     0.05% - 100%
ISO 25178 兼容:     是
 

機械規格

Z 范圍:             100 mm
Piezo (壓電)范圍:   500 μm
垂直掃描速度:       12 μm/sec
XY 平臺類型:        自動
XY 平臺范圍:        100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平臺:      +/- 5°, 手動
相機:               2592 x 1944 (5 百萬像素)
相機變焦 3:         1X, 2X, 4X
系統尺寸，寬x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系統重量:           15 公斤

選購配件
手動 4-物鏡炮塔及位置感測
自動 4-物鏡炮塔及位置感測