多弧離子真空鍍膜設(shè)備

- 詳細(xì)介紹: FOXIN-GD 超長高度多弧離子鍍膜機(jī)型號 （高度4m以上） 性能型號 GD-1840 GD-2340 GD-2540 GD-2345 GD-2548 GD-2265 鍍膜室尺寸：mm Ф1800×H4000 Ф2300×H4000 Ф2500×H4000 Ф2300×H4500 Ф2500×H4800 Ф2200×H6500 真空室結(jié)構(gòu) 立式開門、吊裝或臥室推車結(jié)構(gòu)配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng) 真空獲得系統(tǒng) 維持泵+機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵或分子泵（具體型號可根據(jù)客戶的要求進(jìn)行配置） 真空測量系統(tǒng) 一臺皮拉尼(MKS) 一臺冷陰極(MKS) 一臺薄膜規(guī)(MKS) 電源類型 直流電源、中頻電源、脈沖電源 （偏壓電源、弧電源） 極限真空指標(biāo) 空載冷態(tài) 1.0一 6.0×10-4Pa 電弧源 22臺-28臺 22臺-28臺 26臺-32臺 26臺-32臺 32臺-48臺 32臺-48臺 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 偏壓電源 60KW/1臺 60KW/1臺 70KW/1臺 70KW/1臺 80KW/1臺 100KW/1臺 磁控電源 ———— ———— ———— ———— ———— ———— 工件轉(zhuǎn)動方式 多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)） 工件烘烤溫度 常溫-至450℃可控可調(diào)（PID溫控） 工藝氣體 3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)選配自動加氣系統(tǒng) 氬氣、氮氣、氧氣、乙炔等 冷卻方式 水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機(jī)（制冷機(jī))或深冷系統(tǒng)。（客戶提供） 控制方式 PLC+觸摸屏操作或計算機(jī)控制，手動、半自動、自動方式、 供給指標(biāo) 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、 報警及保護(hù) 對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施及電氣聯(lián)鎖功能。 整機(jī)總功率 165~185KW 185~200KW 200~225KW 225~245KW 245~265KW 265~300KW 輸出頻率 電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據(jù)客戶國家用電標(biāo)準(zhǔn)配置） 設(shè)備占地面積 25~55m2 35~55m2 35~55m2 45~55m2 45~55m2 55~75m2 備注 可根據(jù)用戶要求設(shè)計制造非標(biāo)設(shè)備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對靶等。