采購人(蓋章)

太原理工大學

采購項目所屬項目名稱

分析測試中心科研儀器設備

采購項目名稱及金額

分析測試中心科研儀器設備，985萬元

項目組織單位

太原理工大學

項目使用單位

太原理工大學分析測試中心

購置理由

2.多功能微區取向成像分析系統：該設備主要用于高分辨率微區微觀結構、取向成像和形貌分析的大型精密分析系統，具有景深大、分辨率高、成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點，主要包括場發射光源和鎢燈絲光源兩臺掃描電子顯微鏡，并搭載能譜和電子背散射取向分析系統。

鎢燈絲光源系統主要用于微米級別和亞微米級別的的金屬斷口分析、表面銹蝕分析、裂紋結果分析、取向成像分析等，能夠觀察到極限結構一般為100nm以上。通過能譜儀附件，可在空間分辨率1微米左右進行成分定性和定量分析，通過電子背散射衍射附件，可分析微觀織構取向、大尺寸的晶粒信息，晶粒極限尺寸為500nm左右。

場發射光源系統可以觀察到10nm左右的樣品表面微觀結構，例如金屬樣品中的非金屬析出物和夾雜物等，通過能譜儀附件，可在空間分辨率80nm左右進行成分定性和定量分析，通過電子背散射衍射附件，可分析分析織構取向復雜、晶粒尺寸特別小的樣品，晶粒極限尺寸為50nm左右。

   該系統除微觀結構成像、微觀區域元素和晶體學數據分析外，多功能微區取向成像分析系統亦可擴展力學、溫度、電學等原位實驗條件，這些附件可可模擬材料實際應用過程中的力和熱學環境，觀察和分析材料在實際使用過程中微觀結構和微觀織構發生的動態變化過程，以獲得更貼近材料實際應用環境的數據，此外還配有低真空環境模式，可檢測的樣品種類不局限于導電干燥樣品，開放性更強。

論證專家基本情況

姓名

技術職稱

現從事專業

所在單位

陳少平

教授

材料

太原理工大學材料科學與工程學院

劉生玉

教授

礦業

太原理工大學礦業工程學院

陳智輝

教授

物電

太原理工大學物理與光電工程學院

左志軍

教授

煤化工

太原理工大學化學化工學院

梁建國

教授

機械

太原理工大學機械與運載工程學院

專家組論證意見

1.X射線光電子能譜儀的購置符合國家法律法規的有關規定。

擬購置的X射線光電子能譜儀可用于材料表面的元素定性分析、半定量分析、化學狀態分析、等表面元素成份、元素分布、元素價態、化學態、微區分析以及深度剖析等化學特性方面的表征測試。

項目履約時間和方式，驗收方法和標準及其他合同實質性條款均符合要求。

所購儀器的配套條件均已落實，可在本校及本地區實現資源共享，承擔相關產品和樣品的分析。

擬購置的X射線光電子能譜儀對我校材料、化工、機械、礦業、地質、物電、生醫、環工、信息等相關學科開展高水平科學研究、培養高水平人才起到支撐作用，并可以為校內外用戶提供優質服務。

綜上所述，擬購置的X射線光電子能譜儀是我校開展高水平教學科研、培養高水平人才、促進“雙一流”學科建設的基礎設備，建議采購。

2.多功能微區取向成像分析系統：

1）擬購買的多功能微區取向成像分析系統主要用于高分辨率微區微觀結構、取向成像和形貌分析，包括鎢燈絲光源和場發射光源兩臺掃描電子顯微分析系統，搭載能譜分析儀和電子背散射取向成像分析裝置，是微區結構與取向成像結構分析最為重要的儀器設備之一，能夠為材料、化學、物理、機械及力學等相關學科的研究與教學提供強有力的支持。2）目前，國內暫無同類儀器設備的生產制造廠商，進口的多功能微區取向成像分析系統的生產廠家主要有日本電子、泰思肯和日立等三家公司，經過詳細的調研，論證報告中的配置與技術參數基本合理，三家公司的產品均符合購置要求。3）該儀器設備的采購符合國家法律法規的有關規定，安裝場地、水電供應、防磁防震等配套條件已經落實，國內尚未出臺國家/地方相關標準規范，采購完成后可以實現校內外測試資源共享。

綜上所述，建議采購。

采購需求

一、X射線光電子能譜儀：

1．貨物名稱：X射線光電子能譜儀              數量（單位）：1套

2．采購標的需實現的功能或者目標，以及為落實政府采購政策需滿足的要求

對各類導電，非導電材料在多種形態下（包括粉末、薄膜、高分子等）的表面幾個原子層（1nm～10nm厚的表面）的化學組成、價態，深度剖析及成像、功函數特性的分析與表征，兼顧材料經反應環境影響的準原位分析。

3．采購標的需滿足的質量、安全、技術規格、物理特性等要求（技術指標要求）：

（一）功能要求

1.XPS主機包括單色化XPS、微區XPS、平行成像XPS、ARXPS角分辨分析、離子散射譜ISS、同軸REELS反射電子能量損失譜、UPS多氣體紫外光電子能譜分析、離子槍刻蝕套件、團簇刻蝕套件、準原位反應室、X射線熒光分析功能、自動化五軸樣品臺、超高真空測量裝置功能并配備實現這些功能的其他所需部件，整套系統還需配備用于與其他設備拓展連用的UFO真空傳樣裝置。

2.準原位材料表征反應池達到≥1200K溫度時可以同時實現≥7bar的壓力，整套系統能夠在線混氣和控溫，在進行反應的表征時，應能進行程序控溫和真氣氛控制，且不影響常規的XPS測試。

（二）主要技術要求

1.真空系統

1.1 分析室：真空腔為純μ金屬制造，真空度≤5.0×10-10mbar；

1.2 分析室真空泵：獨立的機械泵，分子渦輪泵及鈦升華泵組合；

1.3 樣品處理室及快速進樣室：真空度應≤5.0×10-9 mbar；

1.4樣品處理室及快速進樣室真空泵：配備獨立的渦輪分子泵和機械泵，不可與分析腔共用，防止交叉污染；

1.5 烘烤系統：烘烤≤12小時并完成除氣。

2.多功能樣品停放臺

2.1 樣品臺

軸向：5軸樣品臺，即X、Y、Z移動，傾斜及旋轉；移動：X方向不小于50mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于12mm；以水平方向為軸至少在-90°～+90°范圍內可傾斜；

2.2移動

通過樣品臺驅動部件，可以對樣品位置進行遠程自動控制，對位置控制精度達到≤1um，角度控制精度≤0.1º，通過樣品實時圖像上，可通過鼠標點擊實現樣品臺的移動；

2.3分析室樣品臺帶有加熱冷卻功能，溫度范圍170K-1000K。

3.單色化X射線源

3.1 射線源類型：單色化Al陽極X射線源；

3.2分析尺寸至少在20μm-800μm之間連續可調；

3.3 單色化光源的陽極靶可移動，在陽極靶更換前應可提供≥18個工作點使用；

3.4 能量分辨率：對Ag3d5/2峰，半高寬≤0.43eV；

*3.5大束斑能量分辨率和靈敏度（工作功率≤300W時）：對Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV時，計數率強度≥4Mcps；

3.6大束斑能量分辨率和靈敏度（工作功率≤300W時）：對Ag3d5/2峰能量分辨≤0.6eV時，計數率強度≥2Mcps；

3.7能量分辨率和靈敏度（工作功率≤300W時）：對Ag3d5/2峰能量分辨優于0.45eV時，計數率強度優于150 kcps；

3.8成像XPS：快速平行成像，對Ag3d5/2，線掃描的最佳空間分辨率≤1μm。

4.能量分析器

4.1 采譜能量分析器：外罩為純μ金屬制造；180°半球能量分析器；

4.2 平均半徑：≥150mm；

4.3能量掃描范圍應≥0～4500eV，確保多功能分析時無需切換分析器；

4.4通過能范圍應≥(5eV～380eV)，并可連續調節，調節步長≤1eV，并且在每個通能下均可工作采譜，以獲得XPS窄掃譜；

4.5能量分析器極性：雙極性。

5.探測器

雙探測器獨立式設計，各自針對XPS采譜和XPS成像優化。

6.電荷中和系統

*6.1 結構及操作方式：磁透鏡+同軸電子槍+離軸低能離子/電子槍的雙槍雙束中和方式，適用于所有不導電樣品及粗糙表面的精準荷電中和；

6.2 能量分辨率和靈敏度：對PET絕緣樣品，在O-C=O結構中C1s峰能量分辨(FWHM)≤0.68 eV時，C-C結構中C 1s峰的靈敏度（正常工作條件下的真實測量值）≥25,000cps。

7.離子散射譜ISS

7.1在1 keV He離子作用于清潔金表面，能量分辨≤15eV時，靈敏度≥20,000 cps/nA。

8.同軸反射電子能量損失譜裝置（REELS）

*8.1配有同軸反射電子能量損失譜（REELS），滿足對氫元素的定性定量分析需求，對于干凈的銀樣品，等能量分辨率為0.5eV時，靈敏度≥1000kcps。

9.UPS紫外光電子能譜

*9.1光源：多氣體紫外光源：兼容多種惰性氣體，包括氦，氬，氙等，驗收時需至少演示兩種氣體；

9.2 能量分辨率：對Ag費米邊，能量分辨率應不差于90meV；

9.3靈敏度：能量分辨率≤100meV時，靈敏度（Ag4d）≥1,000,000cps；

9.4 He II工作時，He II/He I 強度比應高于1/2；

9.5系統配有滿足絕緣樣品UPS分析時荷電中和需要的離子束中和源；

*9.6系統可以自動控制在分析時及深度分析過程中同時實現UPS和XPS測試。

10．UFO真空連接腔

*10.1帶有8個真空連接口；采用不銹鋼316加工而成，全部采用內焊工藝，腔體直徑≥700mm，包含≥8個100CF接口；帶有3個150CF的視窗，可以從不同方向直觀的看到機械臂在超高真空腔體里的運動；

*10.2傳樣桿伸出UFO/RDC任一法蘭盤口均距離≥750mm，確保多設備真空互聯時可以拉開足夠的操作空間，伸出法蘭距離不小于腔體直徑；

10.3傳樣桿前端帶耦合樣品抓取頭設計，與目前主流設備兼容，可以直接取放樣品托，可以直接擴展分子束外延（MBE），掃描隧道顯微鏡（STM），角分辨光電子能譜（ARPES）等設備；

*10.4耦合可旋轉機械臂設計，機械臂可繞豎直軸360°旋轉，用于補償不同系統樣品托不同方向帶來的傳樣問題，無需額外的機械手輔助；UFO機械臂上樣品向本項目中任一相連真空艙樣品臺傳遞應直接完成傳遞和轉向，不需使用推送桿或類似的輔助傳遞手段；

10.5機械臂可繞傳送方向360°旋轉，即樣品可以在傳送臂上進行朝上和朝下的方向選擇變換；

10.6采用離子泵+NEG復合泵設計，極限真空≤5×10-10mbar（搭配離子泵測試得到），離子泵接受進口，總抽速≥600L/s；  

10.7具備馬達驅動（步進電機帶閉環光柵尺）和升降模塊選項（不小于±10mm），即可以通過簡單的升級安裝，使樣品傳送可自動遙控和在傳送桿伸出時可升降，搭配控制器和PC端控制軟件，搭配控制手柄，控制軟件需兼容Andriod操作系統；

10.8 搭配與XPS 互聯的閘板閥，其他口采用盲板封閉；

10.9 采用帳篷式烘烤裝置，帶真空互鎖和保護。

11.離子槍刻蝕套件

11.1離子源：Ar+源；

11.2刻蝕模式：單一槍體，包含單離子刻蝕和團簇刻蝕兩種模式；

11.3單離子模式：刻蝕能量500 eV～4keV連續可調；團簇模式：刻蝕能量2 keV～8 keV，團簇中離子數目：75～2000個，每個離子能量最低可達1eV。

12.原位高溫高壓反應池

*12.1 獨立的外掛于樣品制備室上的高壓反應池，溫度及壓力：≥1200K溫度的同時可以實現≥7bar的壓力；

12.2具有獨立的真空系統；

12.3可使用氣體：H2，O2，H2O，CO2，CH4等其他氣體，配備至少四路反應氣路和一路吹掃氣路。

13.X射線熒光附件

13.1系統組成

光管、探測器、自動進樣器，數據分析系統，附助設備和備品備件等；

13.2 X射線管

13.2.1形式：金屬陶瓷側窗管, 長壽命燈絲；

13.2.2 陽極材料：銀靶；

13.3 樣品室

13.3.1 10位可取式自動進樣器, 包括10個樣品杯及樣品卡環；

13.3.2 充氦氣氛系統,用于提高Na,Mg等輕元素分析強度；

13.3.3帶樣品自旋系統，消除樣品不均勻帶來的基體效應；

13.3.4 定時自動監控,含監控樣品；

13.4控制軟件

配置定性定量軟件

13.5配置無標定量軟件

14.譜儀控制和數據處理

14.1 譜儀控制：譜儀參數設置，系統軟件應實現可視化操作；分析部件均可通過系統軟件控制；系統軟件具備可視化操作界面，實現對真空泵、閥門、真空規、離子槍、中和槍以及加熱冷卻等的控制；所有進氣閥門均可通過軟件控制實現自動化開啟和關閉；系統軟件內置真空安全互鎖控制模塊，可有效禁止真空設備的誤操作；多功能樣品臺，樣品臺移動可通過鼠標操作實時的光學像而實現，并具有可視化操作界面；

14.2 數據處理：隨系統計算機一臺，預裝數據采集和處理軟件包數據處理方法：定性分析、定量分析、曲線擬合等需具備SMART本底扣除方法；

*14.3 數據庫：包括完整的XPS、REELS、AES和ISS數據庫；ARXPS角分辨處理軟件、超薄多層膜擬合模塊；全套XPS標準數據圖庫以及化合物結構鑒定數據庫且數據庫中的數據格式內置于操作及分析軟件中，用戶可隨時打開和測試數據進行對比；實驗數據（原始數據及分析結果）可存為通用格式，并能導入Microsoft Office 軟件，軟件的數據處理部分，可在其他PC計算機上安裝使用。軟件介質：以安裝光盤形式提供。

15. 隨系統配備的真空烘烤系統

16. 與以上所有系統相關聯的電子裝置及控制柜

17. 循環冷卻水系統

循環冷卻系統，滿足陽極靶、渦輪分子泵和石英單色器冷卻的需要。

18.不間斷電源系統

配備隔離變壓器的穩壓不間斷電源一套。

19.配套手套箱1

19.1水氧指標：小于1 ppm；

19.2泄漏率：小于0.001vol%/h；

19.3箱體：

內部尺寸：長度：≥1220mm，深度：≥750mm，高度：≥900mm，材料：304不銹鋼；

19.4大過渡艙

尺寸：直徑 ≥360mm，長度 ≥600mm，材料：304不銹鋼；

19.5小過渡艙

尺寸直徑≥ 150mm，長度≥300mm，進入手套箱部分長度≥100 mm，材料：304 不銹鋼；

19.6氣體凈化循環系統

包含凈化柱、循環系統、再生、閥門和管路；

19.7控制系統

功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應功能，自動控制、循環控制、密碼保護，單元控制采用進口PLC觸摸屏；

19.8水分析儀

測量范圍：0～500ppm；

19.9氧分析儀

測量范圍： 0～1000ppm；

19.10有機溶劑吸附器

放置箱內，填充活性炭，可快速更換材料，并且不破壞高純氣氛。

20.配套手套箱2

20.1水氧指標：小于1 ppm；

20.2泄漏率：小于0.001vol%/h；

20.3箱體

內部尺寸：

長度：≥2440mm，深度：≥750mm，高度：≥900mm，材料：304不銹鋼；

20.4大過渡艙

尺寸：直徑 ≥360mm，長度 ≥600mm，材料：304不銹鋼；

20.5小過渡艙

尺寸直徑≥ 150mm，長度≥300mm，進入手套箱部分長度≥100 mm，材料：304 不銹鋼；

20.6氣體凈化循環系統

包含凈化柱、循環系統、再生、閥門和管路；

20.7控制系統

功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應功能；自動控制、循環控制、密碼保護；單元控制采用進口PLC觸摸屏；

20.8水分析儀

測量范圍：0～500ppm；

20.9氧分析儀

測量范圍： 0～1000ppm；

20.10有機溶劑吸附器

放置箱內，填充活性炭，可快速更換材料，并且不破壞高純氣氛。

21.不間斷電源

10KVA,延時2小時。

22.循環水冷機

用于X射線光源,磁透鏡等部件的冷卻。

23.備品備件

內中和源燈絲組件一套、高能離子源燈絲組件一套、低能離子中和源燈絲組件一套、X射線單色器陽極一套、水循環的濾芯兩套、墊圈備件包一包。

二、多功能微區取向成像分析系統技術需求：

多功能微區取向成像分析系統主要包括場發射光源和鎢燈絲光源兩臺掃描電子顯微鏡，并搭載能譜和電子背散射取向分析系統。

1.場發射多功能掃描電子顯微鏡

1.1 電子光學系統

1.1.1 電子槍：肖特基（Schottky）熱場發射型，至少保證三年壽命

1.1.2高真空模式分辨率：≤1.0nm(20kV),3nm (1kV) 

1.1.3分析模式下分辨率：≤3.0nm(15KV,束流:1nA)

*1.1.4 低真空模式分辨率：≤1.8nm(15kV)

1.1.5放大倍率：光鏡模式:1-20X；電鏡模式:5X-600,000X[以128mm×96mm方式計算]或14X-1,679,449X[以358mm×269mm作為顯示尺寸計算],具有光鏡電鏡無縫轉換功能(ZeroMag)

*1.1.6 分析束流：最大300nA，完美匹配EBSD、CL、EDS等各種附件。

*1.1.7 束流控制：光闌角度控制透鏡控制束斑尺寸, 非常方便地，連續地調節束流。無需手動切換光闌

1.2真空系統

1.2.1采用三級真空系統：機械泵×2、分子泵×1、離子泵×2

*1.2.2 具有低真空模式：壓力值10-150Pa范圍內可調，經由透鏡差動抽氣

1.2.3 高低真空切換：軟件切換，60秒內完成,馬達驅動壓差光闌設計，全壓力值下均無需手動插入光闌和探測器

*1.2.4 電子槍可保證斷電狀態下維持高真空狀態200小時

1.3樣品室和探測器及成像系統

1.3.1 樣品室內零磁場，可觀察塊體磁性樣品

*1.3.2樣品倉容積：≥935cm3，可容納直徑300mm,高度90mm樣品

1.3.2樣品交換方式：大開門式，無需使用氮氣泄真空

1.3.3快速編碼驅動樣品臺：樣品移動速度不低于3mm/s

1.3.4 最大樣品重量：2kg

*1.3.5 樣品臺行程：X軸125mm,Y軸:100mm,Z軸：80mm;T軸:-10~+90°R軸:360°

1.3.6 具有11個附件拓展接口，其中能譜儀接口不少于2個

1.3.7 樣品臺優中心設計，樣品傾斜、平移，焦點不變，襯度不變。EBSD分析時無需傾斜尋找樣品；

1.3.8具有二次電子探測器×1

1.3.9具有多分割背散射電子探測器:可形成高低真空的成分像、形貌像和陰影像×1

*1.3.10具有一體化可變焦光學CMOS導航相機，像素：不低于500萬像素，圖像分辨率：2560 × 1920，可在光學大視野范圍下尋找樣品并進行視野切換。

1.3.11具有樣品室觀察相機：可觀察樣品倉內部情況

1.4 圖像處理系統

1.4.1 圖像顯示:1280×1024

1.4.2 圖像存儲:5120×3840，使用蒙太奇拼接功能時，可拓展至無限。

1.4.3 可輸出BMP, JPEG, TIFF格式以及自動記錄數字電影 (.avi)

*1.4.4 操作: 23英寸觸控，還具有鍵盤鼠標、快捷功能操作面板、軌跡球等操作方式

*1.4.6具有自動圖像拼接功能，在一體化光鏡下可完成電鏡模式的超大視野的自動拼接

1.4.7 具有自動對中功能，可以一鍵同時自動進行聚焦，消像散，電子束對中、明暗對比度調整四步操作

1.4.8應具備標注功能（圖形類(圈、矩形、箭頭、測量線)、文字等）

1.4.9應具有測量功能，能測量試件的長寬高、直徑、周長、面積等，可實時測量。

1.4.10 應具有報告輸出軟件，光鏡低倍像，電鏡高倍像結果可同時輸出。

1.4.11 應提供內嵌式的實時導航功能，可用圖像告知操作員用戶下一步的操作步驟，以及根據不同樣品類型，自動推薦操作條件。

1.4.12具有Charge Free跨行積分掃描模式，可將樣品受到電子束的損傷和電荷積累降到最低

1.5自動離子濺射儀 1套

1.5.1 工作氣壓：20Pa及以下，真空度高，噴金顆粒細膩。

1.5.2濺射束流：10，20，30，40mA

1.5.3靶材：Pt/Au/合金等可選，標配1塊白金靶

1.5.4 真空罩尺寸：120mm(直徑)×100mm(高)

1.5.5 計時：數字顯示（1～300s），精確到秒，可以精確控制噴金時間。

1.5.6包含氣體控制、氬氣清洗功能、高壓安全系統，真空計精確。

1.6微區成分分析與取向分析系統

技術指標及配置

1.6.1 探測器：分析型SDD硅漂移電制冷探測器，30mm2有效面積，50mm2晶體面積，高分子超薄窗設計，無需液氮冷卻，僅消耗電能。

1.6.2 能量分辨率：Mn Ka保證優于129eV（@計數率100,000cps）；以上探測器能量分辨率保證符合ISO 15632:2012標準。

1.6.3元素分析范圍: B5～Cf98

具備零峰修正功能，可以快速穩定譜峰，開機后無需重新修正峰位。

能譜應用軟件采用最新的AZtecLiveOne平臺，多線程設計。

1.6.4具備元素譜圖Live功能，移動樣品時，元素譜圖實時刷新顯示，無需在電鏡和能譜軟件間切換；在譜圖采集時實時顯示MinQuant的定量分析結果。

內置Tru-Q引擎，確保定量分析的準確性；FLS（高帽濾波法）自動扣除背底，確定譜峰的位置及峰型；Qcal基于探頭類型修正譜峰峰型，PPC準確預測高計數率下的和峰并進行修正。

1.6.5定性分析：AutoID可自動標識譜峰，可進行譜重構。

1.6.6定量分析：采用XPP定量修正技術，具有完備的虛擬標樣庫。

1.6.7電子圖像最高分辨率達2048*2048像素；元素面分布圖分辨率最高達1024*1024像素；可從面分布圖上進行譜圖重建。

4.6.8線掃描分析每條線可包含高達8192點，可從線掃描結果重建單點譜圖。

采用X1脈沖與圖像處理器：可高效進行脈沖處理和圖像采集，在1,000,000計數率下進行元素面分布分析，在100,000計數率下進行定量分析。

1.6.9 CMOS圖像傳感器技術，結合高效率、高分辨率光學系統。

1.6.10百萬像素分辨率1244*1024，在此分辨率條件下，采集速度≥80點每秒；最快在線采集速度400點/秒，最高速度時花樣分辨率達到312x256像素。

1.6.11角度分辨率0.05度。

1.6.12探測器前端設計：錐形前端，避免遮擋其他探測器。

1.6.13專門定制的光學系統，具有高效率、高清晰度的特點，每個探測器的圖像畸變出廠測試保證<1像素

1.6.14 接近探測器，在可能的碰撞發生前就探測到。

1.6.15 探測器插入最快速度：15mm/s，精度：<10μm

2.鎢燈絲多功能掃描電子顯微鏡

2.1 電子光學部分

*2.1.1二次電子分辨率：3nm (30kV),8nm(3kV),15nm (1kV) 

2.1.2背散射電子分辨率：4nm(30KV)

*2.1.3放大倍率：光鏡模式：1-20X;電鏡模式：5X-300,000X[以128mm×96mm作為顯示尺寸計算]或14X-839,000X[以358mm×269mm作為顯示尺寸計算]，也可以在軟件界面自定義輸出顯示尺寸，自由切換放大倍率數值。具有光鏡電鏡無縫轉換(Zero Mag) 功能

*2.1.4電子槍:工廠預對中設計，燈絲更換只需2個組件，無需對中圈調節，采用無縫自給偏壓技術

2.1.5電子槍自動功能：具有自動加熱、自動對中、自動飽和度調整功能

2.1.6聚光鏡 采用自動可變焦聚光鏡 

2.1.7光闌:三級可調物鏡光闌，可針對不用應用精細調節

2.1.8圖像電位移:±50µm(WD:10mm)

2.2真空系統

*2.2.1 全自動電磁閥門，無須空氣壓縮機

2.2.2采用二級真空系統：機械泵、分子泵（抽速250L/s）

2.3樣品室和探測器及成像系統

2.3.1 樣品室內零磁場，可觀察塊體磁性樣品

*2.3.2樣品倉容積：≥935cm3，可容納直徑300mm,高度90mm樣品

2.3.2樣品交換方式：大開門式，無需使用氮氣泄真空

2.3.3快速編碼驅動樣品臺：樣品移動速度不低于3mm/s

2.3.4 最大樣品重量：2kg

*2.3.5 樣品臺行程：X軸125mm,Y軸:100mm,Z軸：80mm;T軸:-10~+90°R軸:360°

2.3.6 具有11個附件拓展接口，其中能譜儀接口不少于2個

2.3.7 樣品臺優中心設計，樣品傾斜、平移，焦點不變，襯度不變。EBSD分析時無需傾斜尋找樣品；

2.3.8具有二次電子探測器×1

2.3.9具有多分割背散射電子探測器:可形成高低真空的成分像、形貌像和陰影像×1

*2.3.10具有一體化可變焦光學CMOS導航相機，像素：不低于500萬像素，圖像分辨率：2560 × 1920，可在光學大視野范圍下尋找樣品并進行視野切換。

2.3.11具有樣品室觀察相機：可觀察樣品倉內部情況

2.4 圖像處理系統

2.4.1 圖像顯示:1280×1024

2.4.2 圖像存儲:5120×3840，使用蒙太奇拼接功能時，可拓展至無限。

2.4.3 可輸出BMP, JPEG, TIFF格式以及自動記錄數字電影 (.avi)

*2.4.4 操作: 23英寸觸控，還具有鍵盤鼠標、快捷功能操作面板、軌跡球等操作方式

*2.4.6具有自動圖像拼接功能，在一體化光鏡下可完成電鏡模式的超大視野的自動拼接

2.4.7 具有自動對中功能，可以一鍵同時自動進行聚焦，消像散，電子束對中、明暗對比度調整四步操作

2.4.8應具備標注功能（圖形類(圈、矩形、箭頭、測量線)、文字等）

2.4.9應具有測量功能，能測量試件的長寬高、直徑、周長、面積等，可實時測量。

*2.4.10 應具有報告輸出軟件，光鏡低倍像，電鏡高倍像可同時輸出。

2.4.11 應提供內嵌式的實時導航功能，可用圖像告知操作員用戶下一步的操作步驟，以及根據不同樣品類型，自動推薦操作條件。

2.4.12具有Charge Free跨行積分掃描模式，可將樣品受到電子束的損傷和電荷積累降到最低

2.5微區成分分析與取向分析系統

技術指標及配置

2.6.1 探測器：分析型SDD硅漂移電制冷探測器，30mm2有效面積，50mm2晶體面積，高分子超薄窗設計，無需液氮冷卻，僅消耗電能。

2.6.2 能量分辨率：Mn Ka保證優于129eV（@計數率100,000cps）；以上探測器能量分辨率保證符合ISO 15632:2012標準。

2.6.3元素分析范圍: B5～Cf98

具備零峰修正功能，可以快速穩定譜峰，開機后無需重新修正峰位。

能譜應用軟件采用最新的AZtecLiveOne平臺，多線程設計。

2.6.4具備元素譜圖Live功能，移動樣品時，元素譜圖實時刷新顯示，無需在電鏡和能譜軟件間切換；在譜圖采集時實時顯示MinQuant的定量分析結果。內置Tru-Q引擎，確保定量分析的準確性；FLS（高帽濾波法）自動扣除背底，確定譜峰的位置及峰型；Qcal基于探頭類型修正譜峰峰型，PPC準確預測高計數率下的和峰并進行修正。

2.6.5定性分析：AutoID可自動標識譜峰，可進行譜重構。

2.6.6定量分析：采用XPP定量修正技術，具有完備的虛擬標樣庫。

2.6.7電子圖像最高分辨率達2048*2048像素；元素面分布圖分辨率最高達1024*1024像素；可從面分布圖上進行譜圖重建。

2.6.8線掃描分析每條線可包含高達8192點，可從線掃描結果重建單點譜圖。

2.6.9采用X1脈沖與圖像處理器：可高效進行脈沖處理和圖像采集，在1,000,000計數率下進行元素面分布分析，在100,000計數率下進行定量分析。

2.6.10 CMOS圖像傳感器技術，結合高效率、高分辨率光學系統。

2.6.11百萬像素分辨率1244*1024，在此分辨率條件下，采集速度≥80點每秒；最快在線采集速度400點/秒，最高速度時花樣分辨率達到312x256像素。

2.6.12角度分辨率0.05度。

2.6.13探測器前端設計：錐形前端，避免遮擋其他探測器。

2.6.14專門定制的光學系統，具有高效率、高清晰度的特點，每個探測器的圖像畸變出廠測試保證<1像素

2.6.15 接近探測器，在可能的碰撞發生前就探測到。

2.6.16 探測器插入最快速度：15mm/s，精度：<10μm

3備件:

提供標準附件及工具和消耗品1套（導電膠帶4卷、樣品托若干、機械泵油4L等）。

4.保修服務及交貨期

4.1 技術服務：要求供貨廠家配備專業維修工程師和應用工程師，能提供及時有效的售后服務。

4.2 預安裝：合同正式簽字生效后，賣方負責對買方的電鏡實驗室進行預安裝 (主要包括磁場、振動測試等)，同時提供電鏡的安裝要求和用戶需要準備的安裝條件和物資。賣方工程師費用由賣方承擔。

4.3 安裝與調試：儀器到達用戶所在地后，根據買方的通知，賣方在2周內安排儀器的安裝調試，直至達到驗收指標。

4.4 技術培訓：在用戶現場對用戶進行2人為期3-5天的培訓。培訓內容包括儀器的技術原理、操作、調試，數據處理、基本儀器維護，故障排除等。

4.5 保修期：賣方對電鏡主機系統提供一年保修服務（電子槍保修3年），保修期從儀器驗收合格、雙方簽署驗收報告之日算起。保修期內，儀器的零配件費用、人工費用、差旅費用 (耗材除外) 均由賣方承擔。因使用環境及人為因素造成設備損壞不在保修范圍之內。

4.6 維修響應時間：賣方承諾在24小時內對用戶的服務要求做出響應。需要在現場解決問題的，在5個工作日內到達儀器現場。重大問題或其他無法迅速解決的問題應在兩周內提出明確解決方案。

4.7 售后服務：設備供應商承諾對設備提供終身維修服務。

4.8 交貨期：自訂單簽訂后6個月內發貨。

其他事項