四氟甲烷,亦稱四氟化碳,全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。相對分子量:88.00。在常溫下,四氟甲烷是無色,無臭,不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點:-128℃,熔點:-183.6℃。液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(25℃,0.5Mpa)1.0006。揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,在900攝氏度時,不與鋼,鎳,鎢,鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時, 會分解產生有毒氟化物,危險性類別為第2.2類不燃氣體。
用途
四氟甲烷是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅,二氧化硅,氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術,氣相絕緣,超低溫制冷劑,泄漏檢驗劑,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
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