數(shù)字直流磁控濺射電源

主要特點：直流磁控濺射電源用于鍍制金屬膜及化合物膜，輸出電壓為直流，具有穩(wěn)流功能，穩(wěn)流精度1%.1、DSP數(shù)字化控制/精度高/重復(fù)性好，配有控制面板和控制程序。2、具有過流、過熱、過壓、短路保護(hù)。3、控制方式：恒壓、恒流、恒功率4、冷卻方式：風(fēng)冷；風(fēng)冷+水冷5、根據(jù)用戶要求預(yù)留PLC遠(yuǎn)控接口（遠(yuǎn)控功能）主要參數(shù)及規(guī)格：空載電壓：≥1200V；工作電壓：200-700V；多種輸出功率可供選擇：2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、80KW、100KW型號功率工作電壓電流工作方式冷卻方式空載電壓SZL-22kW200~800V3A恒流、恒壓、恒功率風(fēng)冷=>1200VSZL-55kW200~800V5A恒流、恒壓、恒功率風(fēng)冷=>1200VSZL-1010kW200~800V15A恒流、恒壓、恒功率風(fēng)冷=>1200VSZL-2020kW200~800V30A恒流、恒壓、恒功率風(fēng)冷=>1200VSZL-3030kW200~800V40A恒流、恒壓、恒功率水冷=>1200VSZL-5050kW200~800V65A恒流、恒壓、恒功率水冷=>1200VSZL-7070kW200~800V90A恒流、恒壓、恒功率水冷=>1200VSZL-100100kW200~800V130A恒流、恒壓、恒功率水冷=>1200V ?