MFC3100A氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A
氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫度壓力補償。氣體質(zhì)量流量控制MFC3100A是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A產(chǎn)品亮點：

-類    型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器
-控制范圍：30slpm ～ 125slpm  (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分)  
-準度等級: ±1% F.S
-耐    壓：≤70bar
-標準接口：0-5VDC，4-20mA可選
-響應時間：≤2sec
-使用范圍：2~100% for max range
-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma
-漏    率：1×10-9atm•cc/sec
-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）
-無需溫度、壓力補償

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A

產(chǎn)品型號 MFC3100V MFC3100A
  流量范圍 (N2) 30slpm ～ 125slpm  30slpm ～ 125slpm
  響應時間  ≤2秒   ≤2秒
  準確度   ≤±1% 滿量程   ≤±1% 滿量程
 重復精度   ≤±0.25% 滿量程  ≤±0.25% 滿量程
 輸出輸入信號  0~5Vdc   0~5Vdc或4~20毫安
  供電  +15~+28Vdc，350毫安   +15~+28Vdc，350毫安
  耐壓    ≤70 bar  ≤70 bar
 工作環(huán)境溫度   0~50 °C   0~50 °C


應用領(lǐng)域：
－分析儀器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料電池
－生物技術(shù)     －氣相色譜分析         －等離子刻蝕
－激光焊機     －混氣配氣系統(tǒng)         －微反應裝置
－真空鍍膜     －過程自動化           －石化工業(yè)
聯(lián)系人：劉先生
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