M3030V氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器，即Mass flow Controller （縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，它本身還能夠自動控制氣體的流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動的將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度變化，也不會使其偏離其設定值。簡單的說，質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置。

（1） 氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

對于多數氣體測量控制系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于氣體氣體質量流量計／氣體質量流量控制器，則一般可以忽略不計。

（2） 氣體測量控制的自動化

氣體質量流量計／氣體質量流量控制器可以將氣體流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示，累積流量自動計量，數據自動記錄，電腦管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。 通常，模擬的MFC ／ MFM 輸入輸出信號為0～5V 或 4～20mA, 本公司目前所生產的所有MFC ＆ MFM， 其電子訊號控制方式為模擬式（Analog Type）而不是數字式（Digital Type）的， 敬請知悉。

（3） 可精確的定量控制流量

氣體質量流量控制器可以精確的控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，對于不同氣體的比例控制等是特別管用的。

（4）適用范圍廣

有很寬的工作壓力范圍，產品可以從真空直到10MPa； 本公司 MFC／MFM可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體， 如 三氟化硼，三氯化硼，氯化氫，氟化氫等等）； 有很寬的流量范圍，產品最小流量可達 0 ～ 5 sccm，最大流量范圍可達0 ～ 120 slpm。 流量控制的范圍是滿量程的 2 ～ 100％（量程比為 50 ： 1），因此在很多領域得到廣泛的應用