氣浮工作臺

北京航星聯合科技有限公司/天津中精微儀器設備有限公司氣浮氣浮平移臺系列是經過我們長期不懈努力推出的，精度高、剛度特別強，已獲國家專利。國內外先進水平
氣浮平移臺實現了設計定型，可以快速訂制，行程250mm（12寸）XY臺正在備現貨。


 我公司的氣浮平移臺產品，一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
 也可提供雙頻激光反饋控制，穩定精度可達20nm，有成功案例。
 采取隔塵措施后，可應用于高精度生產場合。
 可提供超長行程單軸工作臺。
 也可采用音圈電機、高精度絲杠配合我們獨創的5自由度氣浮聯軸器，驅動工作臺。
 平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉臺。

                                     

3軸龍門氣浮平移臺（已設計定型）                            3軸氣浮平移臺（已設計定型，圖示為帶防護型）
應用于：集成電路測試、CCD鏡頭拼接儀等精密           應用于：上述龍門氣浮平移臺所有應用場合，臺面相
超精密測量場合。                                                   對小一些。此時一般要去掉部分防護。
應用于：高精度激光加工等精密加工場合                     應用于：光學零件加工設備、超精密加工設備


3軸氣浮平移臺的一部分可以單獨供貨，是單軸或雙軸氣浮平移臺

 

     

 

  雙軸氣浮平移臺                   雙軸氣浮平移臺（帶防護）             單軸氣浮平移臺              單軸氣浮平移臺（帶防護）

 

其他案例

                                              

    10m長行程單軸平移臺                             3軸氣浮平移臺（帶主軸和轉臺）                          3軸氣浮平移臺（Z軸提升式）    

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