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    LPCVD設備
    
		
    
			
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			產品簡介
		
    
		
    
			
LPCVD設備  滿足半導體集成電路，電力電子器件，光電子等行業用于在硅片上淀積sio2、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難溶金屬硅化物等多種薄膜工藝。		
    		
	
    
	
    
	
	
	
	
	
	
    
		


		


		
		
	
    
	
    
	
	

    

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