管式回火爐專業定制廠家.晨立

一、管式退火爐用途 管式退火爐，管式真空退火爐、管式擴散爐、管式燒結爐、管式合金爐是我公司根據客戶需求個性化專業定制的高溫熱處理設備，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，我公司的高溫電爐關鍵部件全部采用進口部件，仿國外先進熱處理制造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家知名廠家選為長期供貨商，專業團隊設計制造，可根據客戶不同需求定制，廠家直接供貨，質優價廉。 二、管式退火爐特點 ◆軟著陸載片裝置 軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴散均勻性，同時槳的清洗周期大幅度延長。 ◆高精度溫度控制 新型爐體設計，提高了溫度穩定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩定。 ◆高性能進口元器件組合 關鍵件采用進口管件，且為半導體級別；優質的元器件組合，從而保證成膜質量。 三、管式退火爐主要技術參數 ◆工藝管數量：可根據客戶需求制作為1-4管 ◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸） ◆結構型式：臥式熱壁型或立式 ◆工作溫度范圍：400～1280℃ ◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm ◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆） ◆氣體流量設定精度:±1％F.S ◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s ◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房） 噪音：≤62dB（A） 震動：≤3μm ◆控制方式： 工業微機控制 ◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制 青島晨立電子有限公司可根據客戶需求定制各種非標退火爐、單管退火爐、雙管退火爐、三管退火爐、四管退火爐、管式退火爐、臥式退火爐、立式退火爐、高溫退火爐、真空退火爐、焊接爐、硒化爐、氣氛爐、烤盤爐、擴散爐控制系統、真空爐、升華爐、隧道爐、氧化爐、氧化退火爐、LPCVD爐、氫氣爐、工業爐體等各種工業電爐、實驗電爐等高溫設備。專業團隊個性化定做，廠家直接供貨，歡迎廣大客戶來電來函。