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金屬腐蝕清洗臺招標公告

時間:2014-07-22 19:55:37 來源：安裝信息網

所在區域：	江蘇省江蘇省	招標業主/代理：	/蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司
加入時間：	2014.07.21	截止時間：	2014.08.05

蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司受采購單位委托，就其單位需要的下列設備進行詢價采購，歡迎具有能力提供所要采購正品貨物并且具備足夠技術保障能力的生產商或供應商參加響應。

一、采購內容：

序號	名稱	具體要求	數量/單位	備注
1	金屬腐蝕清洗臺	詳見附件	1臺

二、質量、技術、售后服務要求

1．滿足技術參數、配置（功能）要求。

2．所有報價產品應是全新的、未使用過的、原包裝未拆封的正品商品，完全符合采購規定的質量、規格和性能的要求并符合國家質量標準；其質量及各項技術標準應當符合國家相關產品標準或行業標準，并符合出廠檢驗標準；非標準設備按詢價響應文件約定的技術要求和規范。

3．詢價響應單位應保證提供的設備為全新、未使用的符合國家質量標準的合格正品。詢價響應單位應保證其提供的設備在正確安裝、正常使用和保養條件下，在規定的使用壽命期內具有滿意的性能。

4. 若采購項目中設備在政府采購協議供貨目錄內的產品則必須選用在協議供貨范圍內的品牌規格、必須報產品單價，且不得超過江蘇省省級最新一期的政府采購協議供貨價格（查詢網址：http://www.zfcg.suzhou.gov.cn/szzfcg/xygh/）。

5.交貨期：簽訂合同后2個月內全部交貨并按采購方要求安裝調試到位。

6.知識產權：供方應保證需方免除且供方承擔由于需方在其本國使用該設備或設備任何一部分時而引起第三方提出的侵犯其專利權、商標權或工業設計權的起訴、行動、行政程序索賠、請求等以及需方為此而產生的損失和損害、費用和支出，包括律師費用。

三、響應報價文件組成（所有文件請逐頁加蓋詢價響應單位公章）

1．詢價響應單位經年檢合格的營業執照副本、稅務登記證復印件；

2．詢價響應單位法定代表人身份證復印件或者法定代表人授權委托書（格式見附件）原件以及委托代理人身份證復印件（如有授權）；

3．投標產品的產地、品牌、規格、參數、技術性能等詳細說明；投標產品樣本（彩頁）或原廠蓋章的技術參數；

4.投標設備的詳細配置清單及配件、消耗品清單（格式見附件）；

5．售中、售后服務承諾書（包括交貨計劃、質保期承諾、售后服務維修響應時間等維護體系介紹以及為采購單位作的培訓計劃等）。

6．詢價響應報價表格式（須加蓋公章和委托代理人簽字或蓋章）

詢價響應報價表

詢價采購編號：

詢價響應單位名稱（公章）__________

序號	品名	所投品牌、規格、型號	需方要求	偏離說明（如有偏離）	單價（元）	數量	總價（元）	交貨期(注明最快交貨使用日期)	注明質保期
合計

委托代理人（簽字或蓋章）：

委托代理人聯系電話：日期：年月日

7．詢價響應單位須提供產品合法代理證明（如代理商投標）。

8. 投標確認函原件（見附件格式）。

以上序號1—序號7資料如不能如實提供或提供不完整的視為無效投標。

四、遞交詢價響應文件及確定成交供應商日期和地點：

1．詢價響應文件份數要求：正本份數為一份，副本份數為一份。各詢價響應單位須按詢價響應文件份數要求提交。

本次詢價響應文件接收截至時間為：2014年8月5日11：00前。詢價響應單位應在截止時間前將詢價響應文件密封，并在文件封面注明投標編號、項目名稱，并在文件封口處加蓋響應單位公章后送達昆山市高新區晨豐路18號（蘇州能訊高能半導體有限公司內），聯系人：黃濤，聯系電話：051236886888-8105，未按詢價采購文件要求響應制作的詢價響應文件，一律為無效投標。

2．2014年8月5日下午在昆山市高新區晨豐路18號（蘇州能訊高能半導體有限公司內）進行拆封并競標，根據成交原則確定成交供應商。成交供應商收到成交通知書后，應在三個工作日內簽訂合同。

五、成交原則：

在不高于采購預算的前提下，滿足采購文件要求的最低報價供應商為成交供應商。

六、綜合說明：

1．本次詢價采購投標供應商按人民幣報價。所報價格包括投標產品的供貨、安裝、調試、運輸、倉儲、發貨、送貨、卸貨、人工、機械、保險、運費、各種稅費、勞保、專利技術及質保等一切費用。詢價響應單位的最終總報價中應包含上述全部費用，最終需要供方承擔的費用由供需雙方在合同中約定。

2．報價人應對所要采購的全部內容進行報價，只報其中部分內容的，為無效報價。

3．供方須按成交金額的0.6%在領取成交通知書時向招標代理機構支付服務費。

服務費交納賬戶：蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司

賬號：30100188000004892

開戶銀行：江蘇銀行蘇州金閶支行

4．交貨

（1）交貨期：簽訂合同后2個月內全部交貨并按采購方要求安裝調試到位。

（2）交貨地點：采購單位指定地點。

（3）產品交貨時，包裝完整無破損，還必須提供以下材料：

A、設備裝箱清單

B、質檢合格文件

C、原產地證明文件

D、中文標注

5．售后服務：

（1）按采購方的需求及時到貨，成交單位需負責投標產品的供貨、安裝、調試、運輸、倉儲、發貨、送貨、卸貨、人工、機械、保險、運費、各種稅費、勞保、專利技術及質保等一切費用，投標產品安裝過程中如發現質量問題，成交單位需負責包修、包退、包換；　

（2）保修：至少提供一年免費保修（保修期自驗收合格之日起計算），保修期內免費維修，包括配件。終身維修并標明保修期后的具體維修維護事宜（提供詳細的售后服務條款），要求可長期提供零部件服務。

（3）響應單位在響應文件中應詳細說明其售后服務響應時間，時間安排至少應包括：響應時間；修復時間；不低于下述標準：供貨方提供7×24小時的故障服務受理，接到故障電話后能保證8小時內響應故障服務，24小時內到達現場為用戶解決使用中出現的技術和設備維修問題。

（4）設備驗收

1）供方必須將設備按型號規格、技術參數、產地、制造商、數量、單價列出清單，并附上產品樣本、技術說明、產品所采用的標準以及供貨期。

2）供方所提供的產品必須附有原廠質保書和裝箱單。詢價響應單位必須提供產品的中文說明書，若詢價響應文件所列“技術規格”與產品說明書不符，則以產品說明書為準。

3）供方在安裝、調試后由業主等按國際國內有關標準和規范及驗收標準要求負責該產品的驗收。

6．付款步驟：

合同簽訂生效后，乙方提供B單據5日內，甲方電匯支付設備總價的40%作為預付款；廠驗通過后，乙方提供B單據5日內，甲方電匯支付設備總價的40%作為發貨款；設備安裝、調試、驗收通過后5日內，乙方向甲方提供如下A、B、C單據，甲方電匯支付設備總價的15%作為驗收款；設備總價的5%貨款在設備驗收后滿3個月，無遺留問題后，乙方提供B單據，甲方電匯支付。

A、甲方簽收的送貨回單。

B、正式的發票。

C、由甲乙雙方簽章的《采購合同履行驗收報告》。

付款方式：銀行電匯或轉帳支票。

7.違約責任：

7.1如供方延期交貨，除不可抗力的因素外，供方應向需方就延期交貨支付違約金，具體按總價款每日0.04%支付，另外，若供方延期交貨超過二周需方有權隨時終止合同。

7.2需方延期付款時（有正當拒付理由者除外）應向供方支付逾期付款違約金，按逾期總額每日0.04%的標準計算。

8．詢價響應單位的某些分項報價明顯不合理或者低于成本，有可能影響商品質量和不能誠信履約的，應當要求其在規定的期限內提供書面文件予以解釋說明，并提交相關證明材料；否則，采購單位可以取消該響應單位的成交候選資格，另行確定成交候選單位。

9．本次采購接受進口產品投標。

10. 響應單位在投標時提供的資料均應是真實的，若有虛假，由其自行承擔一切后果。

11．如響應單位對本詢價通知書有疑義，以書面形式向招標代理機構咨詢，一切材料以招標代理機構的書面材料為準。

12．本采購信息將在蘇州市創杰招標網（ http://www.cjzb.com）刊登，成交公告亦是刊登在此媒體，敬請各響應單位注意。

七、聯系方式：

招標代理機構：蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司

地址：蘇州市干將西路399號銀海大廈303室郵編：215002

聯系人：蔣艷紅聯系電話：0512-65238891 傳真：0512-65238892

采購單位：江蘇昆山高新技術產業投資發展有限公司

聯系人：何采薇聯系電話：0512-57517534

蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司

2014年7月21日

附件1：投標確認函（請各單位將確認函填好后在2014年8月4日17：00前傳真至我公司，傳真號：0512-65238892）

確認函

蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司：

我們收到貴公司號關于的詢價通知書，經仔細閱讀和研究，我們決定參加本次項目的投標事宜。

響應單位：（單位蓋章）

法定代表人或委托代理人：（簽字或蓋章）

日期：年月日

聯系電話：傳真號：

附件2：法定代表人授權委托書

授權委托書

本授權委托書聲明：我（姓名）系（詢價響應單位名稱）的法定代表人，現授權委托（單位名稱）的（姓名）為我公司委托代理人，以本公司的名義參加蘇州市創杰招投標咨詢服務有限公司組織實施的編號為號的詢價采購活動。委托代理人在制作詢價響應文件、詢價、評標、合同談判過程中所簽署的一切文件和處理與這有關的一切事務，我均予以承認。

委托代理人在授權委托書有效期內簽署的所有文件不因授權委托的撤銷而失效，除非有撤銷授權委托的書面通知，本授權委托書自簽署之日起生效開始至合同履行完畢止。

委托代理人無轉委托權。特此委托。

詢價響應單位：（公章）

法定代表人：（簽字或蓋章）

委托代理人：（簽字或蓋章）

日期：年月日

附件3、設備配置清單表

設備配置清單表

（參考格式）

響應單位：（公章）采購編號：號

序號

名稱

品牌規格型號

生產廠家

單位

數量

備注

法定代表人或委托代理人：（簽字或蓋章）日期：

注：各響應單位可參照上述格式自制《設備配置清單表》投標。

附件4、設備配件、消耗品清單表

設備配件、消耗品清單表

（參考格式）

響應單位：（公章）采購編號：號

序號

名稱

品牌規格型號

生產廠家

單位

數量

單價

總價

備注

法定代表人或委托代理人：（簽字或蓋章）日期：

注：各響應單位可參照上述格式自制《設備配件、消耗品清單表》投標。

附件5：詳細需求說明書

詳細需求說明書

1設備要求概述

金屬腐蝕清洗臺安裝在無塵室內，其主要功能是對晶圓進行金屬腐蝕工藝和清洗處理，工藝處理方式為手動控制。

A、設備名稱：金屬腐蝕清洗臺 [W用1]；

B、整機尺寸(參考)：約2.0m(L) X 1.1m(W) X 1.9m(H)；

C、被清洗工件規格：4〞硅片 25 PCS/籃（145mm*125mm*120mm）；

D、產能：25 片/批；

E、節拍：0～99min 可調；

F、設備類型:手動；

2設備大致組成部分

A、骨架：國產優質SUS304骨架外包3mm厚PP-W板保護或能起到相同作用的材質；

B、外殼：12mm厚進口PP-W板焊接而成；

C、酸槽/腐蝕槽：

a) 非HF酸槽：厚度不小于4mm石英熱熔焊接而成，槽體加熱采用五面貼膜式加熱；

b) HF槽/水槽：進口厚度不小于6mm NPP 板熱熔焊接而成

D、QDR/DIW 槽：進口厚度不小于6mm NPP 板熱熔焊接而成；

E、管路：管路位于機臺下/后部，管道采用CL-PVC 和PPH、PFA 管路相互配合使用；

F、排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調節裝置；

G、工作照明：機臺頂部配防腐防爆照明；

H、DI/N2 GUN：設備配PFA可伸縮的N2 Gun 和DIW Gun各1把，分置于工設備左右兩側，水槍在左，氣槍在右；

I、電器部分:采用臺達或相等品牌觸摸屏，日本三菱或相等品牌PLC 控制，電器元器件均采用Schneider&Omron或相等品牌；

3安全保護

A、設備整機設有防漏電斷路保護裝置；

B、設備管路區安裝漏液檢測傳感器

C、設備安裝EMO緊急停止按鈕；

D、設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護，防腐防水；

E、電控部分正壓N2保護,有效防止防腐；

F、加熱器采用防腐處理，槽體安裝空燒保護，過溫保護，安全液位保護；

G、設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統；

H、設備底部安裝3mm厚PP防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板；

4設備外觀、布局及工藝流程參數

4.1 設備外觀

4.2 臺面布局

備注：1#-5#槽體內需標記2L、4L、6L刻度線。

4.3 各槽工藝參數

序號	工序名稱	槽體材質	處理方式	介質	溫度	槽蓋	處理時間
1#	腐蝕	石英	浸泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可設定
2#	浸泡	NPP	浸泡	水	RT	有	可設定
3#	腐蝕	石英	浸泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可設定
4#	腐蝕	NPP	浸泡	HF	RT	有	可設定
5#	腐蝕	石英	浸泡+鼓泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可設定
6#	QDR	NPP	噴淋+溢流鼓泡+快排	DIW	RT	有	可設定
7#	QDR	NPP	噴淋+溢流鼓泡+快排	DIW	RT	有	可設定
8#	DIW	NPP	溢流槽	DIW	RT	有	可設定

5槽體部分詳細規格參數

5.1腐蝕槽（1#）

A、數量：1 套；

B、槽體功能：浸泡

C、槽體材質：石英；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、藥液溫度：RT～90℃可調，溫控精度±1℃，溫控顯示精度0.1℃；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手動配液；

H、排廢液：手動排放至指定管道；

I、工藝時間：工序時間客戶可在0～99MIN 內自由設定，工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

J、槽蓋：槽體配NPP槽蓋防止停機污染；

5.2腐蝕槽（2#）

A、數量：2 套；

B、槽體功能：浸泡

C、槽體材質：NPP；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、藥液溫度：室溫；

F、清洗液：水；

G、配液方式：手動配液；

H、排廢液：手動排放至指定管道；

I、工藝時間：工序時間客戶可在0～99MIN內自由設定，工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

J、槽蓋：槽體配NPP槽蓋防止停機污染；

5.3腐蝕槽（3#）

A、數量：1 套；

B、槽體功能：浸泡；

C、槽體材質：石英；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、藥液溫度：RT～90℃可調，溫控精度±1℃，溫控顯示精度0.1℃；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手動配液；

H、排廢液：手動排放至指定管道；

I、工藝時間：工序時間客戶可在0～99MIN 內自由設定，工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

J、槽蓋：槽體配NPP槽蓋防止停機污染；

5.4腐蝕槽（4#）

A、數量：1 套；

B、槽體功能：浸泡；

C、槽體材質： NPP；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、藥液溫度：RT；

F、清洗液：HF；

G、配液方式：手動配液；

H、排廢液：手動排放至指定管道；

I、工藝時間：工序時間客戶可在0～99MIN 內自由設定，工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

J、槽蓋：槽體配NPP槽蓋防止污染；

5.5腐蝕槽（5#）

A、數量：1 套；

B、槽體功能：浸泡+鼓泡；

C、槽體材質：石英；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、藥液溫度：RT；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手動配液；

H、排廢液：手動排放至指定管道；

I、工藝時間：工序時間客戶可在0～99MIN 內自由設定，工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

J、槽蓋：槽體配 NPP矩形槽蓋防止藥液飛濺污染，拱起高度約為10cm (4吋 cassette與把手的整體最大高度約為30cm)，根據各個廠商的QDR槽體嵌入深度可以對槽蓋拱起高度進行修改，但需要保障槽蓋可以完全閉合蓋上；

5.6 QDR槽（6#、7#）

A、數量：2 套；

B、槽體功能：噴淋+溢流+鼓泡+快排

C、槽體材質： NPP；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm；；

E、藥液溫度：RT；

F、清洗液：DIW；

G、上液方式：自動（氣動閥控制），進水管路采用日本旭有基材或同等品牌CL-PVC + PFA管路，保證潔凈度，確保能在20s內將8L的槽體浸滿純水；

H、排液方式：自動（快排閥控制）；

I、排廢水：自動（氣動閥控制），廢水通過獨立管路排放，排放口設有5mm顆粒凸起過濾裝置，確保能在5s內將8L純水完全排出；

J、工藝流程：在觸摸屏里將（噴淋+溢流+鼓泡+快排）模塊化設計，每個工序時間客戶可在0～99 MIN 內自由設定，并且此模塊程序可以設定重復次數，以達到清洗效果，模塊工藝時間到，伴隨聲光報警提示；

K、槽蓋：槽體配 NPP矩形槽蓋防止藥液飛濺污染，拱起高度約為10cm (4吋cassette與把手的整體最大高度約為30cm)，根據各個廠商的QDR槽體嵌入深度可以對槽蓋拱起高度進行修改，但需要保障槽蓋可以完全閉合蓋上；

5.7 DIW槽（8#）

A、數量：1 套；

B、槽體功能：溢流漂洗

C、槽體材質： NPP；

D、槽體有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm；

E、藥液溫度：RT；

F、清洗液：DIW；

G、上液方式：自動（氣動閥控制），進水管路采用日本旭有基材同等品牌CL-PVC + PFA 管路，保證潔凈度，；

H、排液方式：自動氣動閥控制；

I、純水回收：自動氣動閥控制，從DIW 槽溢出的純水及槽體排放的純水通過管道引入廠務純水回收系統；

J、工藝時間：在觸摸屏里將工序時間客戶可在0～99 MIN 內自由設定，時間到，伴隨聲光報警提示；

K、槽蓋：槽體配NPP槽蓋防止污染

6設備廠務配置條件

6.1 動力條件:

A、電源：380V，50HZ,3 KW；

B、純水：CL-PVC 進口DN20 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m³/h ；

C、抽風口：φ200*1 抽風量MAX: 700m³/h ,風量口裝有蝶閥，可手動調節；

D、 CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:0.5 m³/h；

E、 N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:2 m³/h；

6.2 設備排風系統:

A、排風裝置（排風壓力、風量根據實際情況或客戶要求設計）將設備內揮發的有毒氣體抽到車間排風管道

或戶外（室外排放遵守國家環保要求），避免擴散到室內；

B、排風通道內設有風量導流板，從而使排風效果達到最佳；

C、風道安裝可調式蝶閥，根據實際使用調節風量；

6.3 給排水/廢液系統

A、給水管路為CL-PVC 由任接口，便于安裝拆卸；

B、排廢液系統：廢液獨立管道排放，設備后留有接口，可根據客戶需要接入指定管道；

C、給排水排廢接頭均為活性連接；

6.4 電器控制系統

A、設備照明：電器柜內--防爆燈，設備其它部位--低電壓燈，根據工作需要可控照明；

B、電器控制：設備安裝PLC、觸摸屏，各工序參數可以在觸摸屏里直接設定，操作簡單易學；

C、設備的主機、附件及所有附屬設施應采取設備安全防護措施，具有防止意外斷氣、斷電后，維持工作構件正確位置等安全保護措施及裝置；

D、設備整體采取人性化設計，方便操作；并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置，保證性能安全可靠；電控

部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線，電氣控制部分內部還通有N2保護；

E、設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE 管進行保護，免受腐蝕；

F、所有的電控系統均裝有漏電保護器接，并有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統；

G、設備具有良好的接地裝置；

6.5 設備其他要求

A、所有閥門上都標有常開、常閉的標識，所有管路上都標有液體流向的箭頭；

B、在對人體有傷害的地方都做有明顯警示標志，確保操作使用者安全；

C、設備上貼裝銘牌，標識設備使用電源功率、重量、出產年月、聯系電話；

D、設備安裝活動門，方便快速維修管道、過濾器、等部件，保證生產需要；

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關鍵字：照明電器,江蘇

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