程控?cái)U(kuò)散爐
- 價(jià)格范圍：電議或面議
- 供應(yīng)數(shù)量：10
- 所在區(qū)域：山東
- 產(chǎn)品類別： 電力 >電熱設(shè)備 >工業(yè)電爐
- 發(fā)布時(shí)間：2015-07-01 02:58:25
- 青島福潤德微電子有限公司
- 聯(lián)系人：齊紅娟
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- 地址：青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
產(chǎn)品簡介
程控?cái)U(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)組成。選用工控機(jī)微控方式或程控方式操作。
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